タングステン酸化物は（W2O3）タングステンと酸素の化合物である。それは（報告されている2006）140から240の間の溫度で原子層蒸著法による薄膜° Cとw2を（Nを（CH3の）2）6前駆體として[1それは主要な言及されていません]を使って栽培されてとして教科書などいくつかの古い文獻は化合物W2O3にはを參照タングステンの原子量として時92に、化合物を?qū)g際に呼ばれて183.84の約半分現(xiàn)代許容値、すなわちWO3とした考えられていた.